德國寶德類型 8741 - 適用于氣體的質量流量調節器 質量流量計
8741 型必要時可以設置為 MFC 或者 MFM，且規定用于 büS 或者 CANopen 網絡中。büS 網絡技術以 CAN 物理層為基礎，Bürkert 特別為涉及多個控制回路（通過工業以太網或者其他現場總線加以驅動）的應用而對其進行了研發。型號為 ME2X 的系統控制單元 (SCU, System Control Unit) 將客戶的以太網通信傳輸到所有者的 büS 中，并驅動所有相連的電子設備。 設備之間的通信可以在 büS 和 CANopen 之間切換。借此，8741 型也可以集成到現有的 CANopen 基礎設施中。 8741 型借助 MEMS 傳感器進行氣體質量流量的測量（用作 MFM）或者調節（作為 MFC）工作。傳感器直接接觸氣體，因而可以在幾百毫秒之內極其快速地做出反應。此外，測量工作不受壓力或者溫度波動的影響。可以對 MFC/MFM 進行校準，使其用于測量/調節兩種不同的氣體，用戶可以在這兩種氣體之間進行切換。
采用 MEMS 技術直接測量流量
測量和重復精度高
反應時間非常之短
現場總線通信基于 CANopen
額定流量范圍 0.010 l
N/min 至 160 l
N/min
? 高精度和高重復性
? 極快的反應時間
? 配置存儲器簡化設備更換
? 可提供兩種版本：8741標準版和8741büs/CANopen版本
氣體質量流量控制器（MFC）/
氣體質量流量計（MFM）
技術參數
額定流量范圍 (Q額定)) 10 mlN/min 至 160 l
N/min (N2)
可調比 50:1，可選 100:1
工作介質 中性，未受到污染的氣體，
根據要求可以使用其他介質
校準介質 工作氣體或空氣
大工作壓力
（表壓）
10 bar (145 psi)，對于 MFC，
高工作壓力取決于閥門有效通徑
介質溫度 -10 °C 至 +70 °C
（-10 °C 至 +60 °C ，氧氣）
環境溫度 -10 °C 至 +50 °C （根據要求可以適用于更高的溫度）
測量精度 ± 0.8 % o.R. ± 0.3 % F.S.
（1分鐘預熱時間后）
重復精度 ± 0.1 % F.S.
調節時間 (MFC) /
響應時間 (MFM) (t95%)
<300 ms
材料
主體
外殼
密封墊
鋁或不銹鋼
PC（聚碳酸酯）
FKM 或 EPDM（取決于氣體）
管道接口 NPT ?， G ?，壓力街頭和底板連接，
根據要求可以使用其他方式
執行機構 （比例閥）
閥門標稱直徑
kVS值
無電流關閉
0.05…8 mm
0.00006…1.1 m3/h
工作電壓 24 V DC
電壓公差 ±10%
斜波率 ±2%
功率消耗1) 1…3 W （作為 MFM），
大3…12 W （作為 MFC，取決于比例閥型號）
1) 這些信息以典型的功率消耗為基準（在 23 °C 環境溫度、額定流量和
30 分鐘調節模式下）。依據 UL 61010-1 的信息可能不同（參見使用說明書）。
8741 型氣體質量流量控制器 (MFC) /
流量計 (MFM) 提供兩種版本：
8741 標準版：具有工業以太網或模擬量接
口， 適合廣泛的應用場合。
8741 büS / CANopen版: 適用于集成在現
有 CANopen 網絡中或與 ME43 型現場總
線網關組合可集成于現行所有標準的工業以
太網或現場總線中。第二種版本尤其針對具
有多個控制對象的應用情形而研發。
一個ME43現場總線網關 多可連接32臺
MFC/MFM。ME43 型網關將基于 CANopen 的內部通信（burkert稱為 büS：是具
有擴展功能的 CANopen）轉換為工業以太
網和現場總線的行業標準。質量流量控制器/
流量計可以在BUS和CAN open通信之間任
意切換。
8741 型根據需要可以配置為 MFM 或
MFC。可以校準 多四種不同的氣體。 熱氏
MEMS傳感器直接置于氣流中，因此可以達
到非常快的響應時間。直動式比例閥作為調
控單元可以保證高靈敏度。集成的PI控制器
保證了MFC / MFM 的控制特性。8741
*設計非常適合在控制柜中應用。
技術參數
配置存儲器
（包括在供貨范圍
內）
工業 ?SIM 卡用于輕松更換設備
防護等級 IP20
尺寸 參見圖紙 5~8 頁
總質量 約 500 g（鋁主體）
安裝位置 水平或豎直
發光二極管顯示器 RGB-LED，依據 NAMUR NE107
電氣接口 8741 標準型 8741 büS /CANopen
工業以太網 PROFINET，Ethernet/IP，
EtherCAT，Modbus-TCP
通過 2 個 RJ45 (Switch)1)
-
現場總線 - büS （基于 CAN
的總線）/ CANopen
通過接線端，4 針
模擬
輸入端阻抗
大電流
（電壓輸出端）
大Bürde
（電流輸出端）
4…20 mA，0…20 mA，
0…10 V 或 0…5 V 通過
D-Sub92) 或接線端，6 針
>20 kΩ（電壓），
<300 Ω（電流）
10 mA
600 Ω
-
1) 通過單獨接線端供電
2) 在 D-Sub9 模擬規格中，提供附加的數字輸入端以及繼電器輸出端
技術參數， 續
氣體 小Q額定
[IN/min]
大Q額定
[IN/min]
氬氣 0,01 160
乙炔 0,01 65
氦氣 0,01 1000
二氧化碳 0,02 80
空氣 0,01 160
甲烷 0,01 160
丙烷 0,03 44
氧氣 0,01 160
氮氣 0,01 160
氫 0,01 1000
3) 所有值基于1.013 bara
設備選擇提示
為了在MFC中正確選擇執行器的有效通徑，不僅要知道所要求的 大
流量Qnom，還要知道該流量Qnom下MFC (p1, p2)前后的壓力值。一
般情況下，這些壓力與整套裝置的總入口和出口壓力不同，因為通常
在控制器前后都有額外的壓損(管道、附加開關閥、噴嘴等)。請使用第
13頁上的詢價單直接注明MFC前后的壓力。這些壓力值也許是未知的
或無法獲得的測量，但是可以通過考慮在Qnom流量下的近似壓力降，
進行估算。此外，請提供 大進口壓力p1 max，以確保執行機構在所
有運行狀態下的密封緊閉功能。
請使用第 13 頁上的表格提供有關設備設計的信息，并向我們寄送一份詢價副本，包括有關應用的信息。
測量原理
實際流量由傳感器檢測。這是根據熱學原理進行測量的，該原理的優點是提供了不
依賴于壓力和溫度的質量流量測量。
主通道中的層流元件產生一個必要的壓差，使小部分流量進入旁路通道。旁路管道
內壁上裝有帶膜的硅芯片，用于測量流量。采用MEMS傳感器技術，在這塊膜上有
一個加熱電阻和兩個對稱的溫度傳感器（分別位于上游和下游）。如使加熱電阻保
持在一個恒定溫度，則兩個溫度傳感器的電壓差即可用于測量旁路通道中旁路通道
內流過芯片的氣體的質量流量。
